小型蒸镀仪是一种在真空条件下加热蒸发容器中待蒸发材料的方法,以使原子或分子蒸发并从表面逸出以形成蒸气流,进入基材或基材表面,然后凝结成固体膜。
小型蒸镀仪包括以下基本过程:
(1)加热蒸发过程:包括从冷凝相变为气相的过程,并且每种蒸发物质在不同温度下具有不同的饱和蒸气压。
(2)气态原子或分子在蒸发源和基质之间的传输,即原子或分子在周围大气中的飞行过程。
(3)蒸发的原子或分子在基板表面上的沉积过程。即,蒸发,冷凝,成核,成核生长,形成连续的膜。由于基材的温度远低于蒸发源的温度,因此气态分子将直接经历从基材表面上的气态到固态的相变过程。
特点
● 全自动抽气系统
● 旋转样品台
● 菜单驱动式“用户”键盘输入
● 快速释放头方便选择不同的头
● 约束的排气控制
以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图
原样品没有镀膜 115A 100秒 机械泵
115A 100秒 分子泵抽12分钟 115A 120秒 分子泵抽20分钟
真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色
桌面式高温蒸镀仪KT-Z1650CVD
控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
加热方式 | 数字式功率调整器 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
大功率 | ≤1200W |
大输出电压电流 | 电压≤12V 电流≤120A |
真空度 | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤10^-3Pa |
挡板类型 | 电控 |
真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm |
样品台 | 可旋转φ62 (大可安装φ50基底) |
样品台转速 | 8转/分钟 |
品名:桌面式高温蒸镀仪
价格:0.00/台
型号:KT-Z1650CVD
品牌:郑科探
起订:1台
供应:99台
发货:30天内