分子筛原料一般为白色晶体粉末，加入羊甘土粘结后加工成粒状、条状或球状的分子筛。它的体内有许多空腔状晶穴，晶穴之间有窗孔相通，气体分子可以通过窗孔吸附于空腔的内表面。分子筛的型号即以窗孔直径大小来区分。在真空技术应用中，常用的分子筛型号有5A（窗孔直径0.5nm）与13X（窗孔直径1nm），前者适合抽取真空系统中的气体与水蒸气，后者孔径较大则能用来直径较大的抽油蒸气。

分子筛的吸气能力具有选择性，与对于极性气体分子具有优先吸附能力，对于惰性气体吸附能力则较弱，且温度对分子筛的吸附能力影响很大。在液氮温度下，1千克的分子筛可以将50～100L容器从大气压抽到1Pa。由于是物理吸附，其过程可逆，低温下吸附的气体可以通过升温，逐渐释放，也就是分子筛的活化。一般活化温度为200～500℃，不会超过600℃，过高会因为粘结剂挥发而导致粉碎。

制成分子筛吸附泵后，根据冷却结构的不同，可以分为内冷式与外冷式。内冷式加工复杂，但冷却充分，液氮消耗较少，极限真空与吸气容量都较高；外冷式加工简单，循环启动方便，但冷却不充分，液氮消耗量较大，吸气容量与极限真空都较内冷式差些。

分子筛吸附泵在使用过程中抽速是变化的，初始抽气时抽速很大，随着吸附量的增加，其抽速会随之降低。而影响分子筛吸附泵极限压力的主要影响因素是惰性气体与水气，同时器壁的解吸放气、泄漏、热表面的化学反应以及前级泵的一些影响也会对吸附泵的极限压力产生影响。

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